潔凈室作為半導(dǎo)體、制藥、生物實(shí)驗(yàn)室及醫(yī)療器械等領(lǐng)域的核心基礎(chǔ)設(shè)施,其空氣潔凈度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與工藝安全。依據(jù)ISO14644-1或GB/T25915標(biāo)準(zhǔn),潔凈度通過(guò)單位體積內(nèi)≥0.5μm粒子數(shù)判定。潔凈室潔凈度檢測(cè)在日常中,可能會(huì)因操作不當(dāng)、設(shè)備誤差或環(huán)境干擾,出現(xiàn)數(shù)據(jù)異常、重復(fù)性差或超標(biāo)誤判等問(wèn)題。掌握潔凈室潔凈度檢測(cè)典型問(wèn)題的成因與科學(xué)解決方法,是保障檢測(cè)結(jié)果真實(shí)可靠的關(guān)鍵。

一、粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)波動(dòng)大或異常偏高
主要原因:
采樣點(diǎn)布置不規(guī)范:未按標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)格布點(diǎn),或靠近回風(fēng)口、人員通道;
設(shè)備未校準(zhǔn):流量不準(zhǔn)、零點(diǎn)漂移或傳感器老化;
采樣管路污染:殘留顆粒在檢測(cè)時(shí)被吹出。
解決方法:
嚴(yán)格按ISO14644-1計(jì)算采樣點(diǎn)數(shù)(如10m?房間至少2點(diǎn)),避開(kāi)干擾源;
每年送計(jì)量機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器,使用前做自凈與零計(jì)數(shù)測(cè)試;
每次檢測(cè)前用潔凈空氣吹掃采樣管≥1分鐘。
二、檢測(cè)結(jié)果“合格”但工藝仍受污染
可能因僅關(guān)注≥0.5μm粒子,忽略更大粒徑(如≥5.0μm)或微生物沉降菌。對(duì)策:
多粒徑同步監(jiān)測(cè):尤其A級(jí)區(qū)(ISO5)需同時(shí)監(jiān)控≥5.0μm粒子;
結(jié)合沉降菌/浮游菌檢測(cè):粒子數(shù)合格≠無(wú)菌,制藥GMP要求微生物與粒子雙控;
動(dòng)態(tài)vs靜態(tài)區(qū)分:生產(chǎn)狀態(tài)(動(dòng)態(tài))下檢測(cè)才具實(shí)際意義。
三、采樣流量不足或中斷
檢查電池電量及泵是否堵塞;
確認(rèn)采樣口未被手套或衣物遮擋;
使用等動(dòng)力采樣探頭(isokineticprobe)避免氣流擾動(dòng)導(dǎo)致采樣偏差。
四、人員操作引入污染
檢測(cè)人員必須穿戴完整潔凈服,動(dòng)作緩慢,避免走動(dòng)揚(yáng)塵;
設(shè)備表面用75%乙醇擦拭后再帶入;
采樣口朝上且遠(yuǎn)離人體呼吸區(qū)。
五、環(huán)境因素干擾
溫濕度突變:高濕易致粒子凝聚,造成假性升高,建議在45%–60%RH下檢測(cè);
靜電吸附:干燥環(huán)境下粒子附著墻面,檢測(cè)前開(kāi)啟FFU運(yùn)行≥30分鐘穩(wěn)定氣流;
鄰近施工或開(kāi)門頻繁:暫停檢測(cè),待環(huán)境恢復(fù)穩(wěn)定。
六、數(shù)據(jù)記錄與判定誤區(qū)
單次采樣時(shí)間應(yīng)滿足最小采樣量(如ISO5需≥28.3L),不可隨意縮短;
超標(biāo)結(jié)果需復(fù)測(cè)確認(rèn),排除偶然干擾;
建立歷史趨勢(shì)圖,識(shí)別漸進(jìn)性污染風(fēng)險(xiǎn)(如高效過(guò)濾器衰減)。